液態(tài)金屬微流體學

第1 章 概論 ………………………………………………………………… 1
1.1引言 ………………………………………………………… 1
1.2微流體………………………………………………………… 1
1.3常溫液態(tài)金屬……………………………………………………9
參考文獻………………………………………………………… 15
第 2 章 液態(tài)金屬微流體芯片及其電極制作技術(shù) ………17
2.1 引言 ………………………………………………………17
2.2 液態(tài)金屬微流控芯片制作技術(shù) ……………………………………… 17
2.3 液態(tài)金屬微電極制作技術(shù)……………………………………………… 22
2.4 液態(tài)金屬電極穩(wěn)定性探討……………………………………28
2.5 液態(tài)金屬柔性微加熱器高溫斷裂機理探究……………………………………30
參考文獻………………………………………………………………… 36
第 3 章 液態(tài)金屬微流體溫度測量 ……………
3.1 引言…...……………………………………… 40
3.2 熱電偶測溫 …………………………………………………… 40
3.3 薄膜熱電阻測溫 ………………………………………………… 42
3.4 布朗運動測溫 ………………………….………………… 43
3. 5 紅外測溫 …………………………………………………………………… 43
3.6 熱敏熒光測溫 ………………………………………………… 43
3.7 熱色液晶測溫 ………………………………………………… 44
3. 8 核磁、拉曼光譜測溫……………………………………………………… 44
3.9 激光界面測溫 ……………………………………………………………… 45
3.10 超聲波測溫 ……………………………………………………………… 45
3.11 液態(tài)金屬微流體測溫技術(shù) ………………………………………………………………46
參考文獻…………………………………64
第 4章 液態(tài)金屬微流體壓力傳感器 …………………………………67
4.1 引言 ………………………………………………………………… 67
4.2 基于液態(tài)金屬的用于常規(guī)空間的壓力傳感器…………………………… 68
4.3 基于液態(tài)金屬的用于微小空間的壓力傳感器………………………… 97
參考文獻 ..…………………………………………………………… 133
第 5 章 液態(tài)金屬微流體容性流體檢測 …………………………………… 138
5.1 引言….……………………………………………………………………… 138
5.2 雙側(cè)布置式液態(tài)金屬容性流體檢測 ………………………………………… 139
5.3 共面布置式液態(tài)金屬容性流體檢測 ……………………………………148
參考文獻 …………………………………………………………………………………179
第6章液態(tài)金屬電滲流微泵 …………………………………………… 181
6.1 引言……………………………………………………………………………… 181
6.2 液態(tài)金屬微電極電滲流微泵結(jié)構(gòu)及原理 ………………………………… 182
6.3 液態(tài)金屬微電極結(jié)構(gòu)形式及布置方式的數(shù)值優(yōu)化設計 …………… 186
6.4 液態(tài)金屬微電極電滲流微泵驅(qū)動性能的實驗測試…………………… 191
6.5 液態(tài)金屬微電極電滲流微泵驅(qū)動性能的測試結(jié)果……………………… 193
6.6 液態(tài)金屬電滲流微泵的擴展方法………………………………………………… 197
6.7 液態(tài)金屬電滲流微泵的橫向擴展……………………………………………… 200
6.8 液態(tài)金屬電滲流微泵的縱向擴展……………………………………… 203
6.9 液態(tài)金屬電滲流微泵展望………………………………………………… 204
參考文獻……………………………………………………………………… 205
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