微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用

第1章 緒論
1.1 微納米技術(shù)與微納米加工技術(shù)
1.2 微納米加工技術(shù)的分類
1.3 本書的內(nèi)容與結(jié)構(gòu)
參考文獻(xiàn)
第2章 光學(xué)曝光技術(shù)
2.1 光學(xué)曝光方式與原理
2.2 光學(xué)曝光的工藝過程
2.3 光刻膠的特性
2.4 光學(xué)掩模版的設(shè)計與制作
2.5 突破光學(xué)曝光分辨率的新技術(shù)
2.6 光學(xué)曝技術(shù)的極限
2.7 厚膠曝光技術(shù)
2.8 灰度曝光技術(shù)
2.9 光學(xué)曝光的計算機(jī)模擬設(shè)計
參考文獻(xiàn)
第3章 電子束曝光技術(shù)
3.1 電子光學(xué)原理
3.2 電子束曝光系統(tǒng)
3.3 電子束曝光圖形的設(shè)計與數(shù)據(jù)格式
3.4 電子束抗蝕劑及其工藝
3.5 電子束散射與鄰近效應(yīng)
3.6 電子束曝光鄰近效應(yīng)的校正
3.7 電子束曝光的計算機(jī)模擬
3.8 電子束曝光的極限分辨率
參考文獻(xiàn)
第4章 聚焦離子束加工技術(shù)
4.1 液態(tài)金屬離子源
4.2 聚焦離子束系統(tǒng)
4.3 離子在固體材料中的散射
4.4 聚焦離子束加工原理
4.5 聚焦離子束加工技術(shù)的應(yīng)用
4.6 聚焦離子束曝光技術(shù)
4.7 聚焦離子束注入技術(shù)
參考文獻(xiàn)
第5章 X射線曝光技術(shù)
第6章 刻蝕技術(shù)
第7章 復(fù)制技術(shù)
第8章 微納米加工技術(shù)的應(yīng)用
中英文名詞對照索引
結(jié)束語