金剛石膜粒子探測器材料

叢書序
前言
第一章 緒論
1．1 金剛石膜的結(jié)構(gòu)
1．2 金剛石膜的優(yōu)異特性
1．3 化學(xué)氣相沉積法金剛石膜的制備技術(shù)
1．4 金剛石膜在光電領(lǐng)域中的主要應(yīng)用
參考文獻
第二章 自支撐金剛石膜的制備
2．1 實驗設(shè)備及原理介紹
2．2 金剛石膜的制備工藝研究
2．3 自支撐金剛石薄膜的性能
參考文獻
第三章 金剛石膜表面導(dǎo)電性能研究
3．1 引言
3．2 實驗過程
3．3 自支撐金剛石膜的導(dǎo)電性能
3．4 本章小結(jié)
參考文獻
第四章 金剛石膜肖特基場效應(yīng)晶體管
4．1 引言
4．2 金剛石與金屬電極的接觸特性
4．3 MESFET器件制備及性能研究
4．4 本章小結(jié)
參考文獻
第五章 金剛石膜紫外光探測器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制備及測試
5．4 實驗結(jié)果與討論
5．5 ZnO/金剛石結(jié)構(gòu)紫外光探測器的性能研究
5．6 本章小結(jié)
參考文獻
第六章 金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應(yīng)用
6．1 引言
6．2 氧化鋁襯底的碳離子預(yù)注入
6．3 氧化鋁上金剛石膜的成核分析
6．4 金剛石的厚膜生長及應(yīng)力分析
6．5 金剛石薄膜/氧化鋁復(fù)合材料性質(zhì)研究
參考文獻
第七章 納米金剛石膜X射線探測器
7．1 納米金剛石膜的制備和性能表征
7．2 納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征
7．3 氫刻蝕對納米金剛石膜電學(xué)和光學(xué)性能的影響
7．4 強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征
參考文獻
第八章 金剛石膜α粒子探測器
8．1 CVD金剛石膜粒子探測器的研制
8．2 CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研制
參考文獻
……
第九章 粒子探測器讀出電路電子系統(tǒng)
第十章 金剛石膜生物傳感器及在其它光電聲等領(lǐng)域應(yīng)用