本書介紹單雙相壓電泵結構設計理論及驅動控制技術。對機械結構設計、專用驅動電源研制、壓電泵流量自測量及液體精密輸送技術進行研究。在對壓電振子特性、壓電泵工作機理進行分析的基礎上,以單、雙相壓電泵為驅動對象,研制系列模擬式、程控式、數(shù)字式專用驅動電源,對壓電泵工作性能進行測試;提出一種基于壓電自感知的壓電泵流量自測量技術;研究基于定脈沖數(shù)控制的液體精密輸送技術。本書將壓電泵機械結構與驅動控制技術相結合,充分發(fā)揮了壓電泵精密、微流量輸送的優(yōu)點,并實現(xiàn)了雙向傳輸、流量自測量、定體積精密輸送功能。