半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù)：高純水的制造及廢水、廢氣的處理

定　價：￥2.00

ISBN：	9787030000040	出版時間：	1987-01-01	包裝：
開本：	19cm	頁數(shù)：	254頁	字?jǐn)?shù)：

　　本書介紹了半導(dǎo)體生產(chǎn)中大量使用的洗滌用水-高純水的制備方法、純度測試及高純水系統(tǒng)的設(shè)計，介紹了從半導(dǎo)體工廠排放出來的廢水及有害氣體的情況及其處理方法。

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