微慣性儀表：微機械加速度計

　　微機械加速度計是以IC工藝和微機械加工工藝為基礎制作的MEMS器件，在軍民兩用領域均有廣泛的應用前景。本書以作者參加“九五”、“十五”重點預研課題及清華大學“985”校級重點項目工作為基礎寫成。全書共分9章，主要內(nèi)容包括：微機械加速度計的類型、工作原理及數(shù)學模型，電容式微機械加速度計的結(jié)構(gòu)和電路，微機械加速度計的集成、誤差分析、主要性能指標及測試方法，微機械加速度計的應用及進一步研究動向等。本書內(nèi)容除對微機械加速度計的研究和應用有借鑒作用之外。對其他慣性儀表乃至其他MEMS器件的研究亦有參考價值，可供慣性技術(shù)領域、微機電系統(tǒng)領域以及各相關(guān)應用領域的科技工作者閱讀。

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