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內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　微機(jī)械加速度計(jì)是以IC工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ)制作的MEMS器件，在軍民兩用領(lǐng)域均有廣泛的應(yīng)用前景。本書以作者參加“九五”、“十五”重點(diǎn)預(yù)研課題及清華大學(xué)“985”校級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目工作為基礎(chǔ)寫成。全書共分9章，主要內(nèi)容包括：微機(jī)械加速度計(jì)的類型、工作原理及數(shù)學(xué)模型，電容式微機(jī)械加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和電路，微機(jī)械加速度計(jì)的集成、誤差分析、主要性能指標(biāo)及測(cè)試方法，微機(jī)械加速度計(jì)的應(yīng)用及進(jìn)一步研究動(dòng)向等。本書內(nèi)容除對(duì)微機(jī)械加速度計(jì)的研究和應(yīng)用有借鑒作用之外。對(duì)其他慣性儀表乃至其他MEMS器件的研究亦有參考價(jià)值，可供慣性技術(shù)領(lǐng)域、微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域以及各相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的科技工作者閱讀。