機械量傳感器與MEMS技術及應用

●第一部分：傳感器與基本彈性敏感元件的特性
第1章傳感器的靜態(tài)特性
1.1傳感器靜態(tài)特性的一般描述
1.2傳感器的靜態(tài)標定
1.2.1靜態(tài)標定條件
1.2.2傳感器的靜態(tài)特性
1.3傳感器的主要靜態(tài)性能指標及其計算
1.3.1測量范圍與量程
1.3.2靜態(tài)靈敏度
1.3.3分辨力與分辨率
1.3.4時漂與溫漂
1.3.5傳感器的測量誤差
1.3.6線性度
1.3.7符合度
1.3.8遲滯誤差
1.3.9非線性遲滯誤差
1.3.10重復性誤差
1.3.11綜合誤差
1.4非線性傳感器靜態(tài)性能指標的計算
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