中共黨員，1985、1987、1990年于華中工學院（華中理工大學，現(xiàn)華中科技大學）機械工程一系機械制造專業(yè)分別獲工學學士、碩士、博士學位；1990-1992年清華大學精密儀器系博士后、助理研究員，1992年清華大學精密儀器系副教授，1994年清華大學精密儀器系教授。曾任清華大學精密儀器系副主任、主任，機械工程學院院長，校長助理；2015年8月任清華大學黨委常委、副校長；2021年10月任華中科技大學校長、黨委副書記。2013年當選中國工程院院士。在我國率先開展了微機電系統(tǒng)（MEMS）、智能微系統(tǒng)技術、微納航天器的技術創(chuàng)新及其工程實踐。作為總負責人主持設計、建造、發(fā)射和在軌運行“TH-1”、“NS-1”、“NS-2”等多顆微納衛(wèi)星，其中NS-1衛(wèi)星是當時世界上在軌飛行的*小“輪控三軸穩(wěn)定衛(wèi)星”，為我國空間微系統(tǒng)與微衛(wèi)星的科技進步做出了重要貢獻；突破了多項自主核心技術，研制出微型MEMS儲能器件及能源微系統(tǒng)、MEMS太陽敏感器、微/納型星敏感器、MEMS開關/繼電器、MEMS掃描鏡及探測微系統(tǒng)等一系列具有國際先進水平的傳感、儲能器件與微系統(tǒng)，且多種產品已經在航空、航天等領域實現(xiàn)在軌應用。先后獲得國家技術發(fā)明獎二等獎3項、國家科學技術進步獎二等獎2項，與*獎勵不重復的省部級科技獎勵10余項；授權國家發(fā)明專利90余項；發(fā)表SCI/EI論文400余篇，出版專著4部，譯著2部。
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