表面科學與薄膜技術基礎

目錄
前言
第1章　真空物理基礎　1
1.1　真空基礎知識　1
1.2　氣體動力學理論　3
1.3　真空獲得　10
1.4　真空測量　19
1.5　真空系統(tǒng)　25
1.6　本章小結　26
習題　27
參考文獻　28
第2章　表面科學基礎　29
2.1　表面和體材料　29
2.2　表面重構　33
2.3　表面結構缺陷　37
2.4　表面張力和表面能　40
2.5　表面吸附　43
2.6　表面電子結構　49
2.7　本章小結　52
習題　52
參考文獻　52
第3章　薄膜物理基礎　53
3.1　薄膜生長模式　53
3.2　形核的熱力學模型　55
3.3　形核和生長的動力學過程　61
3.4　團簇的聚結與耗盡　62
3.5　形核與生長的實驗研究　65
3.6　本章小結　68
習題　69
參考文獻　69
第4章　熱蒸發(fā)沉積　70
4.1　蒸發(fā)的物理化學特性　70
4.2　薄膜厚度均勻性和純度　76
4.3　熱蒸發(fā)硬件　82
4.4　熱蒸發(fā)技術的應用　85
4.5　本章小結　87
習題　88
參考文獻　88
第5章　濺射鍍膜　89
5.1　等離子體和湯森放電　90
5.2　等離子體中的反應　94
5.3　濺射物理　98
5.4　濺射沉積薄膜過程　103
5.5　本章小結　108
習題　108
參考文獻　108
第6章　化學氣相沉積　109
6.1　反應類型　110
6.2　CVD熱力學　113
6.3　氣體輸運　114
6.4　熱CVD工藝　118
6.5　等離子體CVD工藝　120
6.6　激光CVD工藝　122
6.7　金屬有機CVD工藝　123
6.8　本章小結　124
習題　124
參考文獻　125
第7章　薄膜結構　126
7.1　薄膜結構演化　126
7.2　熱蒸發(fā)沉積薄膜結構和形貌　129
7.3　濺射鍍膜薄膜結構和形貌　133
7.4　CVD薄膜結構和形貌　136
7.5　本章小結　137
習題　138
參考文獻　138
第8章　現(xiàn)代表面分析技術　139
8.1　X射線光電子能譜　139
8.2　紫外光電子能譜　149
8.3　X射線衍射和低能電子衍射　152
8.4　掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡　156
8.5　振動譜　159
8.6　本章小結　164
習題　164
參考文獻　165
第9章　薄膜材料　166
9.1　金剛石薄膜　166
9.2　超硬薄膜　173
9.3　半導體薄膜　178
9.4　磁性存儲薄膜　181
習題　184
參考文獻　184