電子顯微學(xué)中的辯證法：掃描電鏡的操作與分析

第 1 章　掃描電鏡的定義及其工作原理 1
1．1　掃描電鏡的定義 1
1．1．1　顯微鏡與電子顯微鏡 1
1．1．2　掃描電鏡與透射電鏡 2
1．2　掃描電鏡的組成及其工作原理 5
1．2．1　掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及功能 6
1．2．2　掃描電鏡的工作原理 27
第 2 章　掃描電鏡的相關(guān)理論知識(shí) 29
2．1 掃描電鏡的信息源 29
2．1．1　物質(zhì)的組成 30
2．1．2　高能電子束對(duì)樣品信息的激發(fā) 32
2．2 放大倍率 40
2．3 分辨力 42
2．4 掃描電鏡的圖像襯度和表面形貌像的形成 46
2．4．1　形貌襯度 47
2．4．2　二次電子襯度和邊緣效應(yīng) 58
2．4．3　電位襯度 62
2．4．4　Z 襯度 65
2．4．5　晶粒取向襯度 69
2．5　掃描電鏡圖像的清晰度和辨析度 71
2．5．1　圖像襯度與清晰度的關(guān)系 73
2．5．2　圖像的放大倍率與辨析度的關(guān)系 75
2．5．3　圖像的放大倍率與清晰度的關(guān)系 75
2．5．4　圖像辨析度與清晰度的辯證關(guān)系 77
2．5．5　實(shí)例的展示及探討 79
2．5．6　總結(jié) 86
第 3 章　掃描電鏡測試面臨的幾個(gè)問題 89
3．1　樣品的荷電現(xiàn)象 89
3．1．1　荷電現(xiàn)象的成因 91
3．1．2　荷電現(xiàn)象的 3 種表現(xiàn)形式 94
3．1．3　加速電壓和束流強(qiáng)度對(duì)樣品荷電現(xiàn)象的影響 99
3．1．4　如何應(yīng)對(duì)樣品的荷電現(xiàn)象 105
3．1．5　總結(jié) 114
3．2　樣品熱損傷的成因及應(yīng)對(duì)方法 116
3．2．1　樣品熱損傷的成因 116
3．2．2　如何應(yīng)對(duì)樣品熱損傷 120
3．3　磁性材料的測試方案 123
3．3．1　什么是磁性材料 124
3．3．2　電磁透鏡對(duì)各種磁性材料的影響 126
3．3．3　如何判斷樣品的磁特性 128
3．3．4　如何對(duì)磁性較強(qiáng)的樣品進(jìn)行測試 129
3．3．5　使用半內(nèi)透鏡物鏡測試磁性樣品的實(shí)例 130
3．3．6　總結(jié) 131
3．4　碳污染及其應(yīng)對(duì) 133
3．4．1　碳污染的成因 133
3．4．2　碳污染的應(yīng)對(duì) 134
第 4 章　掃描電鏡的操作要領(lǐng)及測試條件的選擇 139
4．1　掃描電鏡的操作要領(lǐng) 139
4．1．1　對(duì)中 139
4．1．2　消像散 141
4．1．3　對(duì)焦 142
4．1．4　調(diào)整亮度和對(duì)比度 142
4．1．5　調(diào)整位置的選擇 144
4．2　掃描電鏡工作距離和探頭的選擇 145
4．2．1　工作距離和探頭的選擇與形貌襯度的形成 146
4．2．2　不同工作距離與探頭組合的優(yōu)缺點(diǎn) 160
4．2．3　不同工作距離與探頭組合的成像結(jié)果對(duì)比 161
4．3　掃描電鏡的加速電壓與束流強(qiáng)度的選擇 175
4．3．1　加速電壓與分辨力的關(guān)系 176
4．3．2　加速電壓與樣品中信息分布的關(guān)系 178
4．3．3　加速電壓對(duì)形貌像荷電現(xiàn)象的影響 181
4．3．4　束流強(qiáng)度的選擇 182
4．3．5　電子槍本征亮度對(duì)加速電壓和束流強(qiáng)度選擇的影響 186
附錄　本書中與掃描電鏡相關(guān)的概念及其說明 189
后記193