高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)

　　《高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)》共五章。第一章介紹了研究的緣起、意義及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀。第二章主要針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)及其相關(guān)內(nèi)容進(jìn)行討論， 主要包括： 投影光刻物鏡的像質(zhì)評價與基本設(shè)計(jì)指標(biāo)、光學(xué)設(shè)計(jì)初始輸入條件、高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的結(jié)構(gòu)形式與設(shè)計(jì)結(jié)果分析、波像差自動平衡算法。第三章主要對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的偏振像差研究， 包括標(biāo)量成像與矢量成像、偏振照明與偏振像差、瓊斯光瞳奇異值分解。第四章針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的像質(zhì)補(bǔ)償策略進(jìn)行研究， 包括一維公差和二維公差。第五章對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)及其相關(guān)內(nèi)容做了總結(jié)與展望。

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