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內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　晶圓制造系統(tǒng)由晶圓加工系統(tǒng)以及晶圓物料運(yùn)輸系統(tǒng)組成，其中晶圓加工系統(tǒng)包括爐管區(qū)、光刻區(qū)、刻蝕區(qū)以及金屬化區(qū)等，每個(gè)加工區(qū)由若干臺(tái)相同加工功能的設(shè)備組成；晶圓物料運(yùn)輸系統(tǒng)由若干個(gè)加工站內(nèi)物料運(yùn)輸系統(tǒng)和一個(gè)加工站間物料運(yùn)輸系統(tǒng)構(gòu)成。因此，晶圓制造系統(tǒng)中存在著大量的并行運(yùn)行設(shè)備。本書(shū)在系統(tǒng)全面介紹晶圓制造中的并行機(jī)調(diào)度問(wèn)題和建模方法的基礎(chǔ)上，分別介紹了光刻機(jī)調(diào)度方法、爐管區(qū)調(diào)度方法以及物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度方法。同時(shí)介紹了晶圓制造中的并行機(jī)調(diào)度性能評(píng)價(jià)方法以及原型系統(tǒng)開(kāi)發(fā)和應(yīng)用。

作者簡(jiǎn)介

　　張潔教授長(zhǎng)期致力于將先進(jìn)制造技術(shù)與先進(jìn)管理理念和IT技術(shù)密切結(jié)合的課題研究與開(kāi)發(fā)，尤其在智能制造系統(tǒng)與大數(shù)據(jù)技術(shù)、智能信息采集系統(tǒng)、智能物流管理系統(tǒng)、智能優(yōu)化算法（遺傳算法、螞蟻算法）、智能制造執(zhí)行系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)（cIMeS）、智能調(diào)度方法、基于大數(shù)據(jù)技術(shù)的車(chē)間性能分析與運(yùn)行決策等方面進(jìn)行了深入研究并取得豐碩成果。

圖書(shū)目錄

目錄
第1章緒論
1.1半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
1.1.1半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與現(xiàn)狀
1.1.2未來(lái)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨的挑戰(zhàn)
1.2晶圓制造流程
1.2.1沉積工藝
1.2.2光刻工藝
1.2.3刻蝕工藝
1.2.4離子注入工藝
1.3晶圓制造系統(tǒng)的構(gòu)成
1.3.1晶圓制造加工系統(tǒng)
1.3.2晶圓制造物料運(yùn)輸系統(tǒng)
1.4晶圓制造中的調(diào)度問(wèn)題
1.4.1調(diào)度問(wèn)題分類(lèi)
1.4.2調(diào)度問(wèn)題研究現(xiàn)狀
1.5晶圓制造中調(diào)度的重要意義
1.6本書(shū)的主要內(nèi)容安排
第2章晶圓制造中的并行機(jī)調(diào)度問(wèn)題
2.1引言
2.2晶圓制造中的并行機(jī)
2.2.1晶圓制造加工系統(tǒng)并行機(jī)
2.2.2晶圓制造物料運(yùn)輸系統(tǒng)并行機(jī)
2.3晶圓制造中的典型并行機(jī)調(diào)度問(wèn)題
2.3.1光刻機(jī)調(diào)度問(wèn)題
2.3.2爐管區(qū)調(diào)度問(wèn)題
2.3.3自動(dòng)物料運(yùn)輸小車(chē)調(diào)度問(wèn)題
2.4晶圓制造并行機(jī)調(diào)度問(wèn)題的特點(diǎn)
2.5晶圓制造并行機(jī)調(diào)度算法
2.6本章小結(jié)
第3章晶圓制造并行機(jī)調(diào)度問(wèn)題建模
3.1引言
3.2晶圓制造加工系統(tǒng)建模
3.2.1基于數(shù)學(xué)規(guī)劃模型的晶圓制造加工系統(tǒng)建模
3.2.2基于排隊(duì)論模型的晶圓加工系統(tǒng)建模
3.3晶圓制造運(yùn)輸系統(tǒng)建模
3.3.1基于復(fù)雜網(wǎng)絡(luò)的晶圓制造運(yùn)輸系統(tǒng)建模
3.3.2基于馬爾可夫模型的晶圓制造運(yùn)輸系統(tǒng)建模
3.3.3基于仿真模型的晶圓制造運(yùn)輸系統(tǒng)建模
3.4本章小結(jié)
第4章晶圓制造中的光刻機(jī)調(diào)度
4.1引言
4.2光刻機(jī)調(diào)度問(wèn)題
4.2.1問(wèn)題描述
4.2.2光刻機(jī)調(diào)度問(wèn)題數(shù)學(xué)模型
4.3基于DSRPT規(guī)則的非等效并行機(jī)動(dòng)態(tài)調(diào)度
4.3.1SRPT規(guī)則性能分析
4.3.2DSRPT在線調(diào)度規(guī)則設(shè)計(jì)
4.4基于遞階混合帝國(guó)競(jìng)爭(zhēng)算法的光刻機(jī)調(diào)度算法
4.4.1時(shí)間窗口滾動(dòng)策略
4.4.2編碼解碼策略
4.4.3遞階混合帝國(guó)競(jìng)爭(zhēng)算法
4.5實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
4.5.1算法參數(shù)實(shí)驗(yàn)
4.5.2關(guān)鍵影響因子分析
4.5.3算法性能對(duì)比實(shí)驗(yàn)
4.6企業(yè)生產(chǎn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證
4.7本章小結(jié)
第5章晶圓制造中的爐管區(qū)調(diào)度
5.1引言
5.2晶圓制造爐管區(qū)并行批處理機(jī)在線調(diào)度
5.2.1爐管區(qū)并行批處理機(jī)在線調(diào)度問(wèn)題描述
5.2.2爐管區(qū)并行批處理在線調(diào)度問(wèn)題數(shù)學(xué)模型
5.3基于調(diào)度規(guī)則的爐管區(qū)調(diào)度
5.3.1組批階段啟發(fā)式算法
5.3.2批排序階段啟發(fā)式算法
5.3.3算法流程
5.4基于混合蟻群算法的爐管區(qū)調(diào)度
5.4.1基于混合蟻群算法的并行批處理機(jī)在線調(diào)度方法架構(gòu)
5.4.2混合蟻群算法
5.5仿真試驗(yàn)與分析
5.5.1算法參數(shù)設(shè)計(jì)
5.5.2對(duì)比實(shí)驗(yàn)
5.6企業(yè)生產(chǎn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證
5.7本章小結(jié)
第6章晶圓制造中的物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度
6.1引言
6.2晶圓制造中的整體式物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度問(wèn)題
6.2.1物料運(yùn)輸系統(tǒng)的類(lèi)型
6.2.2整體式物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度
6.3整體物料運(yùn)輸系統(tǒng)的兩階段調(diào)度方法
6.3.1OHT小車(chē)的派工方法
6.3.2運(yùn)輸路徑動(dòng)態(tài)規(guī)劃方法
6.4基于蟻群算法的小車(chē)派工與路徑規(guī)劃集成調(diào)度方法
6.4.1小車(chē)派工與路徑集成優(yōu)化問(wèn)題
6.4.2基于蟻群算法的OHT小車(chē)運(yùn)輸任務(wù)指派方法
6.4.3基于時(shí)空網(wǎng)絡(luò)的運(yùn)輸路徑規(guī)劃方法
6.5算例驗(yàn)證
6.5.1蟻群算法的參數(shù)實(shí)驗(yàn)
6.5.2調(diào)度方法性能對(duì)比實(shí)驗(yàn)
6.5.3路徑規(guī)劃方法對(duì)調(diào)度算法性能的影響
6.6本章小結(jié)
第7章晶圓制造并行機(jī)調(diào)度性能評(píng)估
7.1引言
7.2晶圓制造并行機(jī)調(diào)度性能評(píng)價(jià)指標(biāo)
7.3晶圓制造加工系統(tǒng)調(diào)度性能評(píng)估
7.3.1基于仿真的晶圓制造加工系統(tǒng)調(diào)度性能評(píng)估
7.3.2基于面向Agent的有色賦時(shí)Petri網(wǎng)的晶圓制造
加工系統(tǒng)調(diào)度性能評(píng)估
7.4晶圓制造運(yùn)輸系統(tǒng)性能評(píng)估
7.4.1基于仿真的晶圓制造物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度性能評(píng)估
7.4.2基于Petri網(wǎng)模型的晶圓制造物料運(yùn)輸系統(tǒng)
調(diào)度性能評(píng)估
7.5本章小結(jié)
第8章晶圓制造調(diào)度系統(tǒng)并行機(jī)調(diào)度模塊
8.1引言
8.2應(yīng)用背景及需求分析
8.2.1應(yīng)用背景
8.2.2需求分析
8.3并行機(jī)調(diào)度模塊總體設(shè)計(jì)
8.3.1總體結(jié)構(gòu)
8.3.2數(shù)據(jù)庫(kù)設(shè)計(jì)
8.3.3用戶界面設(shè)計(jì)
8.4調(diào)度模塊詳細(xì)設(shè)計(jì)
8.4.1基礎(chǔ)信息管理
8.4.2車(chē)間并行機(jī)在線調(diào)度
8.4.3生產(chǎn)過(guò)程管理
8.5應(yīng)用實(shí)例
8.5.1可重入并行機(jī)調(diào)度
8.5.2光刻機(jī)調(diào)度
8.5.3爐管區(qū)調(diào)度
8.5.4物料運(yùn)輸系統(tǒng)調(diào)度
8.6本章小結(jié)
索引
參考文獻(xiàn)
附錄A英漢排序與調(diào)度詞匯