MEMS系統(tǒng)級(jí)建模

　　《MEMS系統(tǒng)級(jí)建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》是目前國(guó)內(nèi)外敘述微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）系統(tǒng)級(jí)建模的專著。MEMS技術(shù)發(fā)展對(duì)快速、高效及合適的設(shè)計(jì)工具提出了迫切需求，以便優(yōu)化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內(nèi)的完整系統(tǒng)性能。針對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及優(yōu)化需求，《MEMS系統(tǒng)級(jí)建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》全面論述了MEMS系統(tǒng)級(jí)建模技術(shù)，內(nèi)容共分五部分。第一部分介紹了MEMS宏模型建模技術(shù)的理論基礎(chǔ)，包括廣義基爾霍夫網(wǎng)絡(luò)理論基礎(chǔ)，模型降階技術(shù)的理論背景，系統(tǒng)級(jí)仿真算法以及協(xié)同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執(zhí)行器、RF MEMS器件、封裝效應(yīng)、分布效應(yīng)上的仿真應(yīng)用。第三部分介紹了各種數(shù)學(xué)模型降階技術(shù)，包括基于矩匹配的線性模型降階技術(shù)及其在電熱模型中的應(yīng)用，基于投影的模型降階技術(shù)及其在微流體、RF MEMS開(kāi)關(guān)等模型中的應(yīng)用，基于模態(tài)疊加的非線性模型降階技術(shù)及其在MEMS陀螺儀模型中的應(yīng)用，靜電執(zhí)行器的線性與非線性模型降階技術(shù)。第四部分介紹了完整系統(tǒng)的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲(chǔ)能組件的能量收集模塊的系統(tǒng)級(jí)模型，含有電路的RF MEMS開(kāi)關(guān)和諧振器的系統(tǒng)級(jí)模型，含有加速度計(jì)、數(shù)字控制器、RF收發(fā)器及電池的系統(tǒng)級(jí)模型，含有加速度計(jì)、陀螺儀及∑△調(diào)制器的系統(tǒng)級(jí)模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統(tǒng)級(jí)建模與仿真環(huán)境，包括Coventor軟件的MEMS+，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網(wǎng)絡(luò)共享的設(shè)計(jì)方法?！禡EMS系統(tǒng)級(jí)建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》由來(lái)自8個(gè)國(guó)家的44名專家撰寫(xiě)，內(nèi)容豐富，參考文獻(xiàn)全面。適合微機(jī)電系統(tǒng)專業(yè)、微電子技術(shù)專業(yè)、半導(dǎo)體技術(shù)專業(yè)、傳感器技術(shù)專業(yè)、機(jī)械工程專業(yè)、儀器儀表專業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)專業(yè)等領(lǐng)域的高年級(jí)本科生、研究生及工程技術(shù)人員閱讀和參考。

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