倒裝芯片缺陷無損檢測技術

　　微電子封裝互連是集成電路（IC）后道制造中難度*大也*為關鍵的環(huán)節(jié)，對IC產(chǎn)品的體積、成本、性能和可靠性等都有重要影響。為提高倒裝焊芯片的可靠性，必須研究高密度倒裝焊缺陷檢測的新技術和新方法。本書系統(tǒng)地闡述了國際上倒裝芯片無損檢測領域的前沿技術，內(nèi)容共分為5章。第1章是倒裝芯片缺陷檢測概述，主要介紹倒裝焊封裝技術的產(chǎn)生、發(fā)展與常規(guī)的缺陷診斷技術。第2章是基于主動紅外的倒裝芯片缺陷檢測，將主動紅外檢測技術應用于倒裝芯片缺陷檢測中。采用非接觸方式對芯片施加熱激勵，并輔以主動紅外探測進行缺陷診斷，使之適用于倒裝芯片內(nèi)部隱藏的缺陷的檢測。第3章是基于激光多普勒超聲激振的倒裝芯片缺陷檢測，主要以倒裝焊焊點的典型缺陷為診斷對象，將超聲激勵、激光掃描測振和振動分析相結合，用于焊點缺陷診斷，可有效實現(xiàn)典型缺陷的識別與定位。第4章是基于高頻超聲的倒裝芯片缺陷檢測，主要是基于超聲波傳播機理，利用高頻超聲回波檢測技術，對倒裝焊芯片缺球、裂紋等經(jīng)典缺陷以及高密度的自制Cu凸點倒裝鍵合樣片缺陷進行無損檢測，結合機器學習理論，對倒裝焊缺陷進行智能識別。第5章是基于X射線的倒裝芯片凸點和TSV缺陷檢測，具體針對三維集成中微凸點缺失缺陷和TSV孔洞缺陷，提出基于X射線透射圖像結合SOM神經(jīng)網(wǎng)絡的缺陷檢測方法，從圖像采集、圖像分割與特征提取、SOM網(wǎng)絡訓練與預測以及缺陷定位等方面著手進行系統(tǒng)研究。本書適合微電子封裝檢測、無損檢測等相關領域的科研人員、教師、研究生閱讀和參考。

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