金屬有機(jī)物氣相外延 理論與實(shí)踐（第2版）

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
?。保病⊥庋蛹夹g(shù)的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長(zhǎng)過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學(xué)………………………………………………………………… １６
?。玻薄∠嗥胶獾臒崃W(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L(zhǎng)的熱力學(xué)驅(qū)動(dòng)力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
　２．５　四元系……………………………………………………………………… ８１
?。玻丁”砻鏌崃W(xué)……………………………………………………………… ８２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
?。常薄∫浴?９９
　３．２　表面測(cè)量技術(shù)…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測(cè)…………………………………………………… １０５
　３．４　原子級(jí)生長(zhǎng)過程………………………………………………………… １０８
?。常怠”砻孢^程對(duì)OMVPE生長(zhǎng)的影響……………………………………… １２２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質(zhì)………………………………………………………………… １３１
　４．１　引言……………………………………………………………………… １３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
　４．３　III族有機(jī)源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機(jī)源……………………………………………………………… １４７
?。矗怠I族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C(jī)摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １７５
第五章　動(dòng)力學(xué)………………………………………………………………… １８６
?。担薄”尘啊?１８６
?。担病MVPE生長(zhǎng)過程……………………………………………………… １９４
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… １９７
　５．４　多相熱解反應(yīng)…………………………………………………………… ２４０
?。担怠∮行颉?２４６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學(xué)與質(zhì)量輸運(yùn)……………………………………………… ２６２
　６．１　引言……………………………………………………………………… ２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… ２６３
　６．３　邊界層模型……………………………………………………………… ２７１
?。叮础∨P式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… ２７２
?。叮怠》磻?yīng)室設(shè)計(jì)應(yīng)用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長(zhǎng)過程設(shè)計(jì)…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長(zhǎng)的綜合模型……………………………………………… ２７９
?。罚病?dòng)力學(xué)限制的生長(zhǎng)……………………………………………………… ２８２
　７．３　中等溫度下所有氣壓范圍內(nèi)的生長(zhǎng)過程……………………………… ３０１
?。罚础「邷貐^(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長(zhǎng)……………………………………… ３０７
?。罚丁】傮w工藝過程設(shè)計(jì)……………………………………………………… ３１５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長(zhǎng)的材料……………………………………………… ３４０
?。福薄aAs……………………………………………………………………… ３４０
?。福病lGaAs ………………………………………………………………… ３５２
　８．３　GaInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
?。福础nP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
　８．６　As/P合金………………………………………………………………… ３７５
?。福贰′R化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
?。福埂II/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長(zhǎng)……………………………………………… ３９８
?。福保啊I/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… ４０４
２ 金屬有機(jī)物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽?dǎo)體材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
　９．１　AlGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
　９．３　AlGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
　９．５　AlGaInN ………………………………………………………………… ４４３
?。梗丁?yīng)變層超晶格…………………………………………………………… ４４４
　９．７　Si襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… ４４６
　９．９　II/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
?。梗保啊诫s超晶格……………………………………………………………… ４４９
?。梗保薄≡訉油庋?ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
　１０．３　電子開關(guān)器件…………………………………………………………… ４８１
?。保埃础√柲茈姵亍?４８６
　１０．５　總結(jié)……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機(jī)源分子符號(hào)………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２