金屬有機(jī)物氣相外延 理論與實(shí)踐（第2版）

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
?。保病⊥庋蛹夹g(shù)的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學(xué)………………………………………………………………… １６
　２．１　相平衡的熱力學(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L的熱力學(xué)驅(qū)動(dòng)力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
?。玻怠∷脑怠?８１
?。玻丁”砻鏌崃W(xué)……………………………………………………………… ８２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
?。常薄∫浴?９９
　３．２　表面測量技術(shù)…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測…………………………………………………… １０５
?。常础≡蛹?jí)生長過程………………………………………………………… １０８
?。常怠”砻孢^程對(duì)OMVPE生長的影響……………………………………… １２２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質(zhì)………………………………………………………………… １３１
　４．１　引言……………………………………………………………………… １３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
?。矗场II族有機(jī)源…………………………………………………………… １４１
　４．４　V 族有機(jī)源……………………………………………………………… １４７
　４．５　VI族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C(jī)摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １７５
第五章　動(dòng)力學(xué)………………………………………………………………… １８６
　５．１　背景……………………………………………………………………… １８６
?。担病MVPE生長過程……………………………………………………… １９４
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… １９７
?。担础《嘞酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… ２４０
?。担怠∮行颉?２４６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學(xué)與質(zhì)量輸運(yùn)……………………………………………… ２６２
?。叮薄∫浴?２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… ２６３
?。叮场∵吔鐚幽Ｐ汀?２７１
　６．４　臥式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… ２７２
　６．５　反應(yīng)室設(shè)計(jì)應(yīng)用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長過程設(shè)計(jì)…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長的綜合模型……………………………………………… ２７９
?。罚病?dòng)力學(xué)限制的生長……………………………………………………… ２８２
?。罚场≈械葴囟认滤袣鈮悍秶鷥?nèi)的生長過程……………………………… ３０１
?。罚础「邷貐^(qū)…………………………………………………………………… ３０６
　７．５　II/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… ３０７
?。罚丁】傮w工藝過程設(shè)計(jì)……………………………………………………… ３１５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長的材料……………………………………………… ３４０
　８．１　GaAs……………………………………………………………………… ３４０
?。福病lGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
?。福础nP ……………………………………………………………………… ３６４
　８．５　GaP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
?。福丁s/P合金………………………………………………………………… ３７５
　８．７　銻化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
?。福埂II/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長……………………………………………… ３９８
　８．１０　II/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… ４０４
２ 金屬有機(jī)物氣相外延(第二版)
　８．１２　非半導(dǎo)體材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
　９．２　GaInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
?。梗场lGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
　９．５　AlGaInN ………………………………………………………………… ４４３
?。梗丁?yīng)變層超晶格…………………………………………………………… ４４４
?。梗贰i襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… ４４６
　９．９　II/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
?。梗保啊诫s超晶格……………………………………………………………… ４４９
　９．１１　原子層外延(ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
?。保埃场‰娮娱_關(guān)器件…………………………………………………………… ４８１
　１０．４　太陽能電池……………………………………………………………… ４８６
?。保埃怠】偨Y(jié)……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機(jī)源分子符號(hào)………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２