射頻等離子體物理學(xué)

第1章 概論
1．1 等離子體
1．2 微電子學(xué)中的等離子體工藝
1．3 等離子體推進
1．4 射頻等離子體：E-H和w模式
1．5 內(nèi)容簡介
第2章 等離子體動力學(xué)與平衡
2．1 微觀描述
2．2 宏觀描述
2．3 整體粒子和能量平衡
2．4 電動力學(xué)描述
2．5 本章 總結(jié)
第3章 有界等離子體
3．1 空間電荷鞘層區(qū)
3．2 等離子體／鞘層過渡
3．3 等離子體區(qū)：輸運模型
3．4 本章 總結(jié)
第4章 射頻鞘層
4．1 響應(yīng)時間
4．2 離子動力學(xué)
4．3 電子動力學(xué)
4．4 （高頻）RF鞘層的解析模型
4．5 重要結(jié)果歸納
第5章 單頻容性耦合等離子體
5．1 恒定離子密度下電流驅(qū)動的對稱模型
5．2 非均勻離子密度的電流驅(qū)動模型
5．3 整體模型
5．4 其他放電參數(shù)范圍及放電位形
5．5 重要結(jié)果歸納
第6章 多頻容性耦合等離子體
6．1 靜電近似下的雙頻CCP
6．2 高頻情況下的電磁模式
6．3 重要結(jié)果歸納
第7章 感性耦合等離子體
7．1 電磁模型
7．2 等離子體自身的阻抗
7．3 變壓器模型
7．4 純感性放電的功率轉(zhuǎn)換效率
7．5 容性耦合
7．6 整體模型
7．7 重要結(jié)果歸納
7．8 進一步考慮
第8章 螺旋波等離子體
8．1 在無界等離子體中的平行傳播
8．2 柱狀等離子體中傳播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的條件
8．4 波功率的吸收：加熱
8．5 E-H-w模式轉(zhuǎn)換
8．6 重要結(jié)果歸納
第9章 真實等離子體
9．1 高密度等離子體
9．2 磁化等離子體
9．3 電負性等離子體
9．4 擴展等離子體
第10章 電測量
10．1 靜電探針
10．2 用于射頻等離子體的靜電探針
10．3 減速場分析器
10．4 共振及波診斷
10．5 重要結(jié)果歸納
附錄：習(xí)題解
參考文獻