微米納米器件設(shè)計(jì)

《微米納米器件設(shè)計(jì)》是MEMS設(shè)計(jì)的專著，主要介紹MEMS器件、系統(tǒng)和工藝的模型、模擬以及設(shè)計(jì)方法。在器件級設(shè)計(jì)中，介紹微傳感器和微執(zhí)行器的工作原理，偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元網(wǎng)格劃分、算法及后處理方法；在系統(tǒng)級設(shè)計(jì)中介紹MEMS系統(tǒng)級建模方法，例如接點(diǎn)分析法、等效電路法、VHDL等；在MEMS工藝模型中，介紹主要加工方法如硅各向異性腐蝕、DRIE、UV-LIGA等工藝模型及相關(guān)算法（元胞自動(dòng)機(jī)、線算法等）。最后介紹MEMS設(shè)計(jì)軟件結(jié)構(gòu)、模塊以及使用方法和算例。

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