微慣性系統(tǒng)及應(yīng)用

第1章 緒論
1.1 引言
1.2 MEMS的設(shè)計
1.3 MEMS制造
1.4 微機電系統(tǒng)與微加工制造技術(shù)
1.5 MEMS中的微光學MOEMS
1.6 微慣性器件及微慣性技術(shù)的發(fā)展
1.7 微慣性系統(tǒng)的應(yīng)用
第2章 微慣性系統(tǒng)基本工作原理
2.1 微慣性器件的動力學基礎(chǔ)
2.2 微慣性航姿系統(tǒng)的工作原理
2.3 姿態(tài)角的定義和更新
2.4 捷聯(lián)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的工作原理
2.5 GPS定位原理
第3章 微慣性器件的功能材料及加工制造技術(shù)
3.1 硅材料的物理性能
3.2 微機電系統(tǒng)加工技術(shù)基礎(chǔ)
第4章 微慣性器件
4.1 微傳感器的敏感機理
4.2 壓力傳感器
4.3 加速度傳感器
4.4 陀螺
4.5 與MOEMS有關(guān)的傳感器
第5章 微慣性器件的測試、標定與誤差分析
5.1 慣性器件測試基本概念
5.2 微機械加速度計的測試與標定
5.3 微機械陀螺儀的測試與標定
5.4 微機械陀螺儀隨機誤差建模與分析補償
5.5 微機械陀螺隨機誤差的時間序列分析建模
5.6 MEMS陀螺小波去噪
5.7 MEMS陀螺隨機誤差的Allan方差分析方法
5.8 微慣性器件的溫度性能分析
5.9 硅微慣性器件的測試實例
第6章 微慣性測量、穩(wěn)定系統(tǒng)
6.1 微慣性測量系統(tǒng)
6.2 微慣性穩(wěn)定系統(tǒng)
第7章 基于微慣性系統(tǒng)的組合導(dǎo)航技術(shù)
7.1 微慣性組合導(dǎo)航系統(tǒng)的基本原理
7.2 微慣性組合導(dǎo)航系統(tǒng)的實現(xiàn)形式
7.3 卡爾曼濾波在微慣性組合導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用
7.4 粒子濾波在微慣性組合導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用
7.5 EKF／UKF在微慣性／GPS組合導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用
7.6 EPF／UPF在微慣性／GPS組合導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用
參考文獻