硅片加工工藝

項(xiàng)目一 硅片加工工藝概述
任務(wù)一 認(rèn)識(shí)硅材料的基本性能
任務(wù)二 硅片加工工藝流程
任務(wù)三 切片工藝崗位技能要求
項(xiàng)目二 單晶截?cái)喙に?br />任務(wù)一 單晶硅棒截?cái)?br />任務(wù)二 單晶樣片檢測
項(xiàng)目三 單晶硅棒與多晶硅錠開方工藝
任務(wù)一 認(rèn)識(shí)開方機(jī)的原理與結(jié)構(gòu)
任務(wù)二 單晶硅開方
任務(wù)三 多晶硅開方
項(xiàng)目四 單晶硅塊磨面與滾圓工藝
任務(wù)一 單晶硅塊磨面
任務(wù)二 單晶硅塊滾圓
項(xiàng)目五 多晶硅塊截?cái)?、磨面及倒角工?br />任務(wù)一 多晶硅塊截?cái)?br />任務(wù)二 多晶硅塊磨面
任務(wù)三 多晶硅塊倒角
項(xiàng)目六 多線切片工藝
任務(wù)一 晶硅多線切割工藝
任務(wù)二 切割液的配置與使用
任務(wù)三 硅塊粘膠
任務(wù)四 多線切割
任務(wù)五 廢線切割工藝
任務(wù)六 多線切割機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)
任務(wù)七 切片過程中異常問題處理
任務(wù)八 切片參數(shù)討論及改進(jìn)
項(xiàng)目七 硅片清洗工藝
任務(wù)一 作業(yè)準(zhǔn)備
任務(wù)二 硅片預(yù)清洗
任務(wù)三 硅片脫膠
任務(wù)四 硅片插片
任務(wù)五 硅片清洗
任務(wù)六 硅片化學(xué)清洗機(jī)理分析
任務(wù)七 清洗機(jī)的維護(hù)與保養(yǎng)
任務(wù)八 硅片甩干
項(xiàng)目八 硅片檢測及包裝
任務(wù)一 熟悉硅片檢測分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
任務(wù)二 硅片檢測
任務(wù)三 硅片包裝
參考文獻(xiàn)