真空技術（高等學校規(guī)劃教材）

1 緒論
1.1 何為真空
1.2 真空度的表征及真空區(qū)域的劃分
1.3 真空技術的歷史回顧
1.4 不同真空狀態(tài)下的真空工藝技術
1.5 真空技術的應用領域
2 稀薄氣體分子運動理論
2.1 氣體在平衡狀態(tài)下的物理特性
2.2 氣體的遷移過程
2.3 蒸發(fā)和凝結
3 吸附與脫附
3.1 吸附現(xiàn)象及吸附機理
3.2 吸附和脫附過程的描述
3.3 溶解和滲透
4 真空中的電現(xiàn)象
4.1 電子發(fā)射
4.2 氣體放電
5 真空中的氣體流動
5.1 氣體流動狀態(tài)及其判別
5.2 氣體的流量和管道流導
5.3 簡單管道的流導計算
6 真空泵的分類和性能
6.1 真空泵的分類
6.2 真空泵性能的表示法
6.3 真空泵的用途及使用范圍
6.4 真空泵的型號及規(guī)格表示法
7 容積式真空泵
7.1 液環(huán)真空泵
7.2 往復式真空泵
7.3 油封機械泵
7.4 羅茨真空泵
7.5 干式真空泵
8 動量傳遞式真空泵
9 氣體捕集式真空泵
10 真空測量
11 真空檢漏
12 真空系統(tǒng)的組成
13 真空系統(tǒng)元件及連接
14 真空系統(tǒng)中常用材料和真空衛(wèi)生
15 真空系統(tǒng)的設計計算
參考文獻