微細(xì)加工技術(shù)

　　《微細(xì)加工技術(shù)》是《現(xiàn)代加工技術(shù)叢書》之一?！段⒓?xì)加工技術(shù)》從微細(xì)加工技術(shù)的基礎(chǔ)知識講起，較為詳細(xì)地介紹了光學(xué)曝光技術(shù)、光學(xué)分辨率增強技術(shù)、電子束光刻技術(shù)、X射線光刻技術(shù)、極端遠(yuǎn)紫外光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)以及其他納米加工技術(shù)?！段⒓?xì)加工技術(shù)》較為全面地反映了我國微細(xì)加工技術(shù)的現(xiàn)狀，并在此基礎(chǔ)上介紹了國際微細(xì)加工的先進(jìn)技術(shù)及其發(fā)展趨勢，是從事微細(xì)加工技術(shù)的科研人員、本科生、研究生以及對微電子感興趣的人員的參考書。

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