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金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測試與工藝

金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測試與工藝

定　價：￥1.05

作　者： 吳鼎芬，顏本達編著
出版社： 上海交通大學(xué)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 歐姆接觸
ISBN： 9787313004642 出版時間： 1989-01-01 包裝：
開本： 19cm 頁數(shù)： 216頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書較詳盡的敘述了集成電路中歐姆接觸的形成原理，測量方法和制造工藝、分析了歐姆接觸在形成和使用過程中發(fā)生的界面冶金反應(yīng)及其對接觸電阻的影響等。

作者簡介

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