微系統(tǒng)技術是以微米量級內的設計和制造技術為基礎，研究開發(fā)微傳感器、微致動器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。微系統(tǒng)可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中，把自動化、智能化和可靠性提高到一個新的水平。預期未來微系統(tǒng)將是科技上舉足輕重的新領域，具有廣闊的應用前景。本書系統(tǒng)地闡述了微系統(tǒng)技術的基本概念、原理和特點；全面介紹了微系統(tǒng)設計技術、微制造技術、微系統(tǒng)檢測技術、微系統(tǒng)集成與控制技術和典型微系統(tǒng)——芯片實驗室技術。本書可以作為高校相關專業(yè)研究生和高年級本科生的選修課材和課外讀物，也適合微系統(tǒng)技術和專業(yè)人員及對微系統(tǒng)技術感興趣的有關人員閱讀。
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