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抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)

抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)

定　價：￥6.50

作　者： 顧振軍，孫猛主編
出版社： 上海交通大學(xué)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 集成電路 耐蝕材料 集成電路工藝
ISBN： 9787313006172 出版時間： 1989-03-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 236頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書以作為微電子器制造時的核心的抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)為對象，就其定義、沿革、工藝、反應(yīng)理論、配套技術(shù)、各類抗蝕劑、分析測試及應(yīng)用、展望等進(jìn)行了全面詳述。

作者簡介

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