MEMS壓力傳感器理論與技術(shù)

　　微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）具有尺寸微小、片內(nèi)集成、批量制造、材料寬泛的技術(shù)特征，因而成為先進(jìn)傳感器技術(shù)的主流發(fā)展方向。微型化、智能化和網(wǎng)絡(luò)化的壓力傳感器在高端裝備、智能制造、機(jī)器人、物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用潛力。 本書將作者團(tuán)隊(duì)多年來在該領(lǐng)域的科研積累融為一爐，從相關(guān)基礎(chǔ)理論出發(fā)，論述了MEMS壓力傳感器的主流工藝、器件靜動(dòng)態(tài)測試、芯片電路等關(guān)鍵技術(shù)，并詳細(xì)討論了多種原創(chuàng)、特種、高端的MEMS壓力傳感器件，對我國MEMS壓力傳感器的科研和產(chǎn)業(yè)發(fā)展將產(chǎn)生巨大的推動(dòng)作用。本書適合MEMS及傳感器領(lǐng)域的研究生、高年級(jí)本科生以及廣大科研人員閱讀和參考。

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