光柵位移檢測及其應用

第一章 緒論
第一節(jié) 檢測技術與傳感器
第二節(jié) 位移精密測量技術研究現(xiàn)狀
第三節(jié) 傳感器信號的處理與研究
第四節(jié) 渦流傳感器
第五節(jié) 光纖光柵傳感器
第二章 光柵的制造及組件
第一節(jié) 光柵制造概述
第二節(jié) 基于莫爾條紋的光柵讀數(shù)頭與光柵光學系統(tǒng)
第三節(jié) 光電信號處理技術
第四節(jié) 光源和光電探測系統(tǒng)
第五節(jié) 光柵測量儀器的電路系統(tǒng)
第三章 基于莫爾條紋的雙層光柵位移檢測
第一節(jié) 莫爾條紋概述
第二節(jié) 探測莫爾條紋的研究方法
第三節(jié) 基于莫爾條紋的高精度位移測量方案
第四節(jié) 基于莫爾條紋的精密測速方法
第四章 基于近場泰伯像的光柵位移檢測及其應用
第一節(jié) Talbot效應
第二節(jié) 基于Talbot效應的位移測量原理及理論模型
第三節(jié) 基于單光柵衍射測量位移的系統(tǒng)
第五章 基于光柵檢測理論的應用
第一節(jié) 單層光柵位移檢測理論下微陀螺的設計與應用
第二節(jié) 納米精度計量光柵的理論研究
第三節(jié) 衍射光柵的光譜學
第四節(jié) 衍射光柵的非光譜學
第五節(jié) 精密導航技術
參考文獻