MEMS多晶圓旋轉機械：渦輪機，發(fā)電機和發(fā)動機

第1章 動力微機電系統(tǒng)（PowerMEMS）簡介
1．1 緊湊的便攜式能源
1．2 化學能源
1．3 功率系統(tǒng)設計因素
1．4 總結
參考文獻
 
第2章 系統(tǒng)設計和器件綜述
2．1 簡介
2．2 熱力學和尺度效應
2．2．1 機械學尺度效應
2．3 MEMS燃氣輪機的設計概述
2．4 軸承和轉子動力學
2．5 渦輪機械流體力學
2．6 結構和材料
2．6．1 材料
2．6．2 結構設計
2．7 燃燒
2．8 發(fā)動機控制及配件
2．8．1 發(fā)動機控制
2．8．2 傳感器
2．8．3 燃料控制閥
2．8．4 起動器一發(fā)電機
2．9 發(fā)動機設計、元件集成、設計演進
2．9．1 電動微馬達一壓縮機和渦輪機一發(fā)電機
2．1 0總結
參考文獻
 
第3章 材料、結構和封裝
3．1 引言
3．2 尺度效應與材料選擇
3．2．1 尺度效應
3．2．2 材料選擇
3．3 室溫下的強度設計
3．3．1 力學測試
3．3．2 結構設計
3．4 高溫下的強度設計
3．4．1 硅的高溫材料模型
3．5 硅的碳化物在混合結構中的使用
3．5．1 SiC/Si混合結構的機械特性
3．5．2 SiC/Si混合結構的制作工藝
3．5．3 機械測試結果
3．6 封裝
3．7 總結
參考文獻
 
第4章 微發(fā)動機的加工
4．1 前言
4．2 微發(fā)動機
4．2．1 軸承測試臺
4．2．2 燃燒室
4．2．3 渦輪增壓機
4．2．4 自激型發(fā)動機（SSE）
4．3 微加工基礎工藝
4．3．1 微發(fā)動機材料
4．3．2 光刻
4．3．3 特殊光刻工藝
4．3．4 濕法腐蝕工藝
4．3．5 干法刻蝕工藝：反應離子刻蝕（RIE）
4．3．6 深反應離子刻蝕（DRIE）
4．3．7 熔融鍵合
4．3．8 陽極鍵合
4．4 微發(fā)動機的特有加工
……
 
第5章 微尺度旋轉磁場機械的加工
第6章 微型渦輪機械中的高速氣體軸承
第7章 熱流體和渦輪機械
第8章 發(fā)動機與發(fā)電機
第9章 旋轉機械的微燃燒室
 
參考文獻