第一部分：等離子體基本原理實驗1
實驗一 直流低氣壓放電現象觀察及伏安曲線的測量1
實驗二 氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗證10
實驗三 湯森第一電離系數α及比值α/p的測定15
實驗四 直流輝光放電等離子體參數的測量19
實驗五 射頻等離子體的激發(fā)特性研究25
實驗六 非磁化微波等離子體電子參數的測量29
實驗七 ECR微波等離子體離子參數的測量33
第二部分:等離子體在材料工程中的應用39
實驗八 微波等離子體化學氣相沉積實驗——形核研究39
實驗九 微波等離子體化學氣相沉積金剛石薄膜實驗44
實驗十 直流等離子體濺射制備碳膜實驗49
實驗十一 微波等離子體燒結氧化鋁陶瓷實驗56
實驗十二 微波等離子體冶金實驗62
實驗十三 常壓微波等離子體引發(fā)聚合實驗67
實驗十四 微波等離子體射流制備納米硅及其熒光特性研究72
實驗十五 直流輝光等離子體表面改性實驗78
實驗十六 等離子體滲氮硬化金屬表面實驗85
實驗十七 微波等離子體化學氣相沉積法低溫合成碳納米管92
實驗十八 納米TiO2薄膜的微波等離子體改性99
實驗十九 空心微珠表面磁控濺射鍍金屬銅膜104
第三部分:等離子體在微電子中的應用113
實驗二十 ECR微波等離子體刻蝕加工實驗113
實驗二十一 微波等離子體CVD制備多晶硅薄膜太陽能電池實驗117
實驗二十二 等離子體發(fā)射光譜分析實驗126
實驗二十三 電子束蒸發(fā)鍍膜與薄膜光學特性分析134
第四部分：等離子體在環(huán)境工程中的應用143
實驗二十四 電暈等離子體處理有機廢水的退色實驗143
實驗二十五 電暈等離子體處理對有機廢水化學需氧量(COD)的影響150
實驗二十六 常壓微波等離子體射流處理有機工業(yè)廢氣實驗154
實驗二十七 常壓微波等離子體射流處理含硫廢氣實驗158
實驗二十八 低溫射頻等離子體殺菌消毒實驗165
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