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薄膜材料科學（第2版）

薄膜材料科學（第2版）

定　價：￥188.00

作　者： （美）奧林 著，劉衛(wèi)國，蔡長龍，梁海鋒 等 譯
出版社： 國防工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 工業(yè)技術 一般工業(yè)技術
ISBN： 9787118081442 出版時間： 2013-02-01 包裝： 平裝
開本： 16開 頁數(shù)： 484 字數(shù)：  

內容簡介

　　《薄膜材料科學（第2版）》詳細介紹了涉及薄膜材料科學的各個方面，內容包括真空技術、薄膜沉積技術與原子過程、薄膜的結構與性能表征等。本書內容廣泛，資料全面，各章后面附有習題，是一本真正意義上的薄膜科學與技術的教科書。該書自1992年第1版問市以來，深受材料科學界的廣泛歡迎。非常適用于從事薄膜材料研究的專業(yè)研究人員、材料類院系高年級本科生和研究生作教材或參考書。本書由中國科學院物理研究所研究員曹則賢先生特別推薦。

作者簡介

暫缺《薄膜材料科學（第2版）》作者簡介

圖書目錄

第1章 材料科學基礎
第2章 真空科學與技術
第3章 薄膜熱蒸發(fā)過程
第4章 放電、等離子體、離子與表面的相互作用
第5章 薄膜制備的等離子體與離子束工藝
第6章 化學氣相沉積
第7章 基底表面與薄膜成核
第8章 外延生長
第9章 薄膜結構
第10章 薄膜及表面的特性
第11章 薄膜內的互擴散、反應和相變
第12章 薄膜的力學性能
習題
附錄

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