學(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)

　　《學(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)》主要講述了壓電薄膜與壓電微型器件制備技術(shù)，主要內(nèi)容分為引言、上篇、下篇和后記。在引言部分，對(duì)全書(shū)內(nèi)容做了總體介紹。在上篇中，介紹了薄膜材料基礎(chǔ)知識(shí)和基本制備方法，對(duì)當(dāng)前國(guó)內(nèi)壓電薄膜的研究進(jìn)展做了簡(jiǎn)單陳述，主要闡述高壓電性PzT基三元系鐵電薄膜PMnN—PZT的制備與表征。在下篇中，介紹了壓電器件的分類(lèi)和聲學(xué)器件的基礎(chǔ)知識(shí)與進(jìn)展，主要闡述了薄膜體聲波諧振器（FBAR）的理論仿真、模擬與性能優(yōu)化方法。在后記部分，對(duì)全書(shū)內(nèi)容進(jìn)行了總結(jié)?！秾W(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)》可作為聲學(xué)、材料學(xué)、微電子學(xué)等相關(guān)專(zhuān)業(yè)研究生的教學(xué)參考用書(shū)，也可供聲學(xué)、壓電學(xué)、薄膜材料和微型機(jī)電器件研究領(lǐng)域的科研工作人員參考。

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