功能薄膜及其沉積制備技術(shù)

　　《功能薄膜及其沉積制備技術(shù)》由戴達(dá)煌、代明江、侯惠君編著，本書結(jié)合功能薄膜的特點(diǎn)和工程應(yīng)用與發(fā)展實際，概要地講述了薄膜的含義、特征和分類及功能薄膜設(shè)計的原則；重點(diǎn)講述了氣相沉積、三束材料表面改性、復(fù)合處理等先進(jìn)功能薄膜沉積制備方法、原理、工藝特點(diǎn)及適用的領(lǐng)域；在裝飾與機(jī)械功能薄膜中，講述了主要膜系、膜系的設(shè)計原則，并分別列舉了裝飾與機(jī)械功能膜的典型應(yīng)用及發(fā)展趨勢；在物理和特殊功能薄膜中，講述了微電子、電磁、光學(xué)、光電子、集成光學(xué)等功能薄膜以及幾種特殊的功能薄膜的特點(diǎn)及其典型的應(yīng)用；最后扼要地介紹了微細(xì)加工技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)加工的特點(diǎn)、典型器件與系統(tǒng)的新應(yīng)用等內(nèi)容。全書內(nèi)容系統(tǒng)，深入淺出地介紹了一些新構(gòu)思、新材料、新器件所實現(xiàn)的工程應(yīng)用?！豆δ鼙∧ぜ捌涑练e制備技術(shù)》可供從事材料表面技術(shù)與工程、薄膜材料工藝與應(yīng)用研究、設(shè)計、制造、管理的科技人員參考，也可供高等院校材料專業(yè)和相近專業(yè)師生使用。

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