半導(dǎo)體材料與器件表征技術(shù)

　　本書詳細(xì)介紹了現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)中半導(dǎo)體材料和器件的表征技術(shù)，基本上覆蓋了所有的電學(xué)與光學(xué)測試方法，以及非常專業(yè)的與半導(dǎo)體材料相關(guān)的物理和化學(xué)測試方法。作者不但論述了測量中的相關(guān)物理問題及半導(dǎo)體材料與器件的參數(shù)的物理起源和物理意義，還將自己和他人的經(jīng)驗?zāi)Y(jié)其中，并給出了具體測量手段，同時指出不同手段的局限性和測量注意事項。本版經(jīng)修訂及擴展，增加了許多逐漸成熟起來的表征技術(shù)，如從探測硅晶圓中金屬雜質(zhì)的掃描探針到用于無接觸式電阻測量的微波反射技術(shù)。本版特色如下：　增加了可靠性和探針顯微技術(shù)方面的全新內(nèi)容　增加了大量例題和章后習(xí)題　修訂了500幅圖例　更新了超過1 200條參考文獻　采用了更合適的單位制，而不是嚴(yán)格的MI（s單位制 本書可作為碩士、博士研究生的教材，也可供高校教師、半導(dǎo)體工業(yè)研究人員參考使用。

　　DIETER K.SCHRODER 是亞利桑那州立大學(xué)電子工程系教授，亞利桑那州立大學(xué)工程學(xué)院教學(xué)杰出貢獻獎獲得者，曾著《現(xiàn)代MOS器件》一書。