目錄
第1章緒論1
11傳統(tǒng)潤滑原理2
12薄膜潤滑4
13納米尺度潤滑及其要求6
14納米尺度潤滑薄膜的特性7
141黏著和鍵合7
142材料和摩擦化學特性8
143耐磨性和自修復特性8
15薄膜組成9
16混合分子膜10
17分子在表面的沉積11
18磁記錄硬盤和微電子機械系統(tǒng)中的納米尺度潤滑12
181磁記錄硬盤的潤滑12
182微電子機械系統(tǒng)的潤滑12
19納米尺度潤滑薄膜的測試技術和理論研究方法13
110納米尺度潤滑研究的意義13
參考文獻14
第2章表面特性16
21液體表面16
211表面張力與表面自由能16
212Laplace公式與毛細現(xiàn)象18
22固體表面20
221固體的表面自由能和表面張力20
222固體表面結構23
223表面結構中的晶格缺陷24
23物理吸附30
231物理吸附與化學吸附30
232吸附膜的一般性質31
233物理吸附的力32
234物理吸附理論33
24化學吸附34
241化學吸附與物理吸附的區(qū)別35
242化學吸附與脫附的動力學37
25潤濕現(xiàn)象38
251潤濕的類型38
252接觸角和Young方程41
253液體對固體表面的潤濕規(guī)律42
參考文獻43
第3章粗糙表面的表征和接觸力學44
31表面粗糙度的重要性45
311“粗糙”的含義45
312表面粗糙度在摩擦學中的影響46
32表面粗糙度表征48
321高度分布概率48
322RMS值和尺度相關性50
323分形技術51
324分形和非分形表面的一般技術58
33接觸點的尺寸分布59
331分形表面尺寸分布的觀測60
332任意表面尺寸分布的導數(shù)61
34粗糙表面接觸力學64
341GreenwoodWilliamson模型64
342MajumdarBhushan模型66
343分形和非分形表面的一般模型69
參考文獻70
第4章納米尺度下的摩擦72
41表面力72
411Derjaguin近似73
412靜電力73
413電動力75
414電磁力76
415液體力77
42黏著力78
421彈性連續(xù)接觸力學的黏著滯后78
422納米尺度接觸的黏著81
43納米尺度摩擦的能量耗散83
431針尖樣品系統(tǒng)的模擬84
432針尖和樣品的彈性86
433摩擦87
434橫向彈性和能量耗散89
44納米尺度下摩擦與速度的關系90
參考文獻92
第5章LB膜技術93
51LB膜的制備94
511LB膜的制備原理95
512制備槽的結構95
513LB膜制備的影響因素96
514兩親分子的結構特征100
515表面壓單分子占有面積的等溫曲線102
516LB膜的沉積方式105
517混合單分子膜110
518特殊材料的成膜技術110
52LB膜的熱穩(wěn)定性112
521有序無序轉變112
522單分子層解吸113
53LB膜的摩擦學特性113
531LB膜層數(shù)對摩擦系數(shù)和磨損壽命的影響113
532LB膜摩擦的各向異性和不對稱性114
533速度和載荷對LB膜摩擦行為的影響115
534外加電場對LB膜摩擦學特性的影響115
535基底對LB膜力學強度的影響117
536粒子復合LB膜的摩擦學特性118
參考文獻119
第6章自組裝技術120
61自組裝分子膜的制備121
611有機硅衍生物的自組裝單分子膜122
612有機硫化物在金屬和半導體基底上的自組裝分子膜129
613脂肪酸在金屬氧化物表面上的自組裝分子膜131
614硅表面烷基單層膜132
615多層自組裝分子膜133
62自組裝分子膜的熱穩(wěn)定性136
621氯化硅烷自組裝分子膜的熱穩(wěn)定性136
622有機硫化物自組裝分子膜的熱穩(wěn)定性137
623其他自組裝分子膜的熱穩(wěn)定性137
63自組裝分子膜的解吸機理138
64自組裝分子膜的摩擦學特性139
641烷烴自組裝分子膜的摩擦磨損特性139
642金表面烷基硫醇的摩擦特性140
643自組裝單分子膜對粗糙固體黏著和變形的影響141
644納米粒子對自組裝分子膜摩擦學特性的影響141
645液體環(huán)境下自組裝分子膜的摩擦特性142
參考文獻144
第7章納米尺度潤滑薄膜的測試分析技術146
71掃描隧道顯微鏡的基本原理147
72掃描力顯微鏡150
721與掃描力顯微鏡相關的力150
722原子力顯微鏡的基本原理151
723原子力顯微鏡工作模式154
724力距離曲線155
725摩擦力顯微鏡的基本原理157
73電子能譜法159
731X射線光電子能譜法159
732紫外光電子能譜法163
733俄歇電子能譜法164
參考文獻167
第8章納米尺度潤滑薄膜理論研究的計算機模擬技術168
81模擬基礎170
811勢函數(shù)170
812周期性邊界條件173
813溫度調節(jié)174
82蒙特卡羅法177
821基本思想177
822大數(shù)法則和中心極限定理179
823重要抽樣法180
83分子動力學方法182
831分子運動方程的數(shù)值求解183
832分子動力學模擬的基本步驟185
84計算機模擬在納米尺度潤滑膜特性研究中的應用187
841蒙特卡羅法對潤滑劑在硬盤表面分散特性的模擬分析187
842分子動力學方法對硬盤表面潤滑膜性能的模擬分析188
參考文獻189
第9章硬盤磁記錄系統(tǒng)中的納米尺度潤滑技術191
91硬盤的加工工藝流程和薄膜硬盤的結構193
92潤滑劑的分子結構194
93磁記錄硬盤用潤滑劑的性質195
931物理性質195
932化學性質196
94硬盤的潤滑196
941潤滑劑鍵合196
942潤滑劑的分散特性198
943潤滑劑的降解機理199
944添加劑的作用機理和影響203
945潤滑劑厚度變化的影響因素204
946潤滑劑的摩擦磨損特性205
95潤滑劑對磁記錄系統(tǒng)動力學特性的影響205
96硬盤磁記錄技術發(fā)展展望207
參考文獻207
第10章微電子機械系統(tǒng)中的納米摩擦學問題及潤滑技術211
101微電子機械系統(tǒng)的設計理論214
102與MEMS組裝和操作相關的典型摩擦學問題215
103微結構材料217
104表面表征218
105表面力和靜摩擦機理分析219
1051固體橋220
1052毛細管力220
1053范德華力222
1054靜電力223
1055微凸體變形力223
1056微機械臨界剛度224
106表面改性方法225
1061微結構撓曲225
1062表面形貌改性226
1063表面處理和涂層沉積228
1064自組裝單分子膜潤滑230
107微電子機械系統(tǒng)應用展望232
參考文獻233