超大規(guī)模集成電路襯底材料性能及加工測試技術(shù)工程

　　本書介紹了超大規(guī)模集成電路襯底材料硅的性能、硅單晶襯底的加工工藝以及相關(guān)的測試技術(shù)。共9章：硅單晶及硅化合物的化學(xué)性質(zhì)、硅單晶的加工成形技術(shù)、超大規(guī)模集成電路硅襯底的拋光、外延技術(shù)、ULSI多層布線全局平坦化、集成電路中的清洗、硅單晶襯底及相關(guān)材料的物理性質(zhì)、硅單晶中的缺陷及其對器件的危害、硅單晶性質(zhì)的檢測設(shè)備與技術(shù)。

暫缺《超大規(guī)模集成電路襯底材料性能及加工測試技術(shù)工程》作者簡介