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硅化物及其在超大規(guī)模集成電路中的應用

硅化物及其在超大規(guī)模集成電路中的應用

定　價：￥1.30

作　者： （美）穆拉爾卡（Murarka，S.P.）著；趙英譯
出版社： 南開大學出版社
叢編項：
標　簽： 硅化物
ISBN： 9787310000463 出版時間： 1987-06-01 包裝： 精裝
開本： 20cm 頁數(shù)： 192頁 字數(shù)：  

內容簡介

　　本書較系統(tǒng)地介紹了各種硅化物，探討了在超大規(guī)模集成電路中作為柵、內部互連線以及線的低電阻接觸的可應用性，總結了取得的成果，提出了存在的問題和今后研究的方向。

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